脉冲信号功率传感器
Pulse Signal Power Sensor
7027 系列
7027系列功率传感器用于精密半导体应用的Bird新型精密脉冲功率传感器。旨在为实验室和半导体工厂环境中的工程师提供**的精度和易用性。在校准频率下，这些传感器能够在脉冲信号下的门限功率进行1％的精度测量。通过可溯源至美国国家标准与技术研究院的校准，您可以确信这些传感器提供的测量结果。
主要特点 •时域显示
•支持至多 4 阶连续脉冲波形门限功率测试
•在校准频率下，整个动态范围内，功率测量精度可达±1％
•NIST可溯源校准
•测量脉冲状态宽度低至1us
•测量脉冲取样点，速率从10Hz到50kHz
•谐波滤波
•外部同步输入
•RF互锁
•使用SCPI命令集自动执行 应用
•射频发生器校准和验证
我们的高精度传感器有助于让您对射频发生器的输出充满信心
•流程开发
使用VPM3记录和分析实验配方中的RF功率数据
•现场过程监控
在运行时密切关注您的流程并检测异常情况
•RF脉冲波形的时域分析
仔细研究您的高功率RF脉冲
选型列表
型号
频率范围
功率发威
重复率
脉冲宽度
接口类型
7027-1-524001-XXYY
400kHz ± 10%
25W to 25KW
10Hz to 11.25kHz
44us
QC型自定义
7027-1-664601-XXYY
1 MHz ± 10%
5.5W to 5.5kW
10Hz to 10kHz
17us
7027-1-544601-XXYY
2 MHz ± 10%
10Hz to 50kHz
11us
7027-1-594301-XXYY
13.56MHz ± 5%
10W to 10kW
1us
Other frequencies and power levels available upon request