CyberOptics WaferSense® 晶圆型中心校准片

CyberOptics WaferSense® 晶圆型中心校准片

ATS

CyberOptics WaferSense® 晶圆型中心校准片

WaferSense® ATS晶圆型中心校准片用于获取三轴偏移数据 (X、Y、 Z) 以快速校准晶圆传输位置,型号包括ATS200和ATS300
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