Nordson | CyberOptics|奥集贝科（广东）科技有限公司

CyberOptics WaferSense® 晶圆型中心校准片

ATS

CyberOptics WaferSense® 晶圆型中心校准片

WaferSense® ATS晶圆型中心校准片用于获取三轴偏移数据 (X、Y、 Z) 以快速校准晶圆传输位置，型号包括ATS200和ATS300

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CyberOptics WaferSense® 晶圆型振动量测片

AVS

CyberOptics WaferSense® 晶圆型振动量测片

CyberOptics WaferSense® 晶圆型振动量测片快速监测三轴加速度和振动，以减少颗粒污染，缩短半导体机台维护时间, 型号包括：AVS200, AVS300

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CyberOptics WaferSense®晶圆型颗粒污染侦测片

APS

CyberOptics WaferSense®晶圆型颗粒污染侦测片

CyberOptics WaferSense®晶圆型颗粒污染侦测片通过实时、无线地监测颗粒污染物，改进半导体机台装调方式和长期量产良率；更轻、更薄、更准确，型号包括APS15...

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CyberOptics WaferSense® 晶圆型振动水平湿度测试片

AMS

CyberOptics WaferSense® 晶圆型振动水平湿度测试片

CyberOptics WaferSense® 晶圆型振动水平湿度测试片能够快速量测振动、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台良率, 型号包括AMS150, AMS200和A...

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CyberOptics ReticleSense晶圆自动教准系统

ATSR

CyberOptics ReticleSense晶圆自动教准系统

CyberOptics ReticleSense晶圆自动教准系统通过无线实时捕获三维偏移数据（x、y 和 z）来快速教导掩模版传输位置，以正确对准和设置半导体工具，从而改善设备设置...

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CyberOptics WaferSense® 晶圆型水平校准系统

ALS/ALS2V

CyberOptics WaferSense® 晶圆型水平校准系统

CyberOptics WaferSense® 晶圆型水平校准系统通过测量倾斜、角度、上升角度和垂直倾斜来设置正确倾斜度。快速准确地在机台之间设置相同的级别，以获得更好的工艺...

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