CyberOptics WaferSense®ATS2晶圆型中心校准片

通过准确校正晶圆传输位置，提高良率和降低颗粒污染

获取偏移数据，以便在晶圆型ATS穿过半导体机台时准确校准传输位置，用准确校准过的机台能提高工艺良率

实现可重复和可复制的半导体机台调试校正

通过ATS的校准能够消除技术人员之间的操作差异，从而实现可重复和可重复的设置和维护检查

将机台停机时间从几小时减少到几分钟

由于机台在调试校正过程中能保持封闭，使用无线和兼容真空的ATS进行故障排除所需的时间更少。提高机台可用性，减少人力和消耗品费用

通过直观检查加快故障排除速度，降低消耗性费用

当机械手在机台内传送ATS时，接收实时图像。直观的图形用户界面提供了X、Y和Z偏移并避免人为猜测。在不打开机台的情况下，可搜索丢失的晶圆并确认底座没有碎屑

• 特征

CyberOptics ATS用于获取三轴偏移数据 (X、Y、 Z) 以快速校准晶圆传输位置，型号包括ATS200和ATS300