CyberOptics ReticleSense晶圆自动教准系统通过无线实时捕获三维偏移数据（x、y 和 z）来快速教导掩模版传输位置，以正确对准和设置半导体工具，从而改善设备设置和长期产量。

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产品详情产品参数产品配件

ReticleSense® 晶圆自动教准系统™ (ATSR)

通过无线实时捕获三维偏移数据（x、y 和 z）来快速教导掩模版传输位置，以正确对准和设置半导体工具，从而改善设备设置和长期产量。

通过**的掩模版切换校准提高产量并降低颗粒污染。

当类似掩模版的 ATSR 穿过半导体设备时，捕获偏移数据以**校准传输位置。通过正确校准的设备提高制造过程的产量。

实现可重复和可再现的半导体设备设置。

通过 ATSR 校准消除技术人员之间的差异，从而实现可重复和可再现的设置和维护检查。

将设备停机时间从几小时缩短至几分钟。

无线和真空兼容的 ATSR 允许设备在检查期间保持密封，从而节省故障排除时间。提高设备可用性，同时减少人力和消耗品费用。

通过目视检查加快故障排除速度并降低耗材费用。

通过**的掩模版切换校准提高产量并降低颗粒污染。当类似掩模版的 ATSR 穿过半导体设备时，捕获偏移数据以**校准传输位置。通过正确校准的设备提高制造过程的产量。实现可重复和可再现的半导体设备设置。通过 ATSR 校准消除技术人员之间的差异，从而实现可重复和可再现的设置和维护检查。将设备停机时间从几小时缩短至几分钟。无线和真空兼容的 ATSR 允许设备在检查期间保持密封，从而节省故障排除时间。提高设备可用性，同时减少人力和消耗品费用。通过目视检查加快故障排除速度并降低耗材费用。当机器人通过该工具移动 ATSR 时接收实时图像。新的 CyberSpectrum™ 软件图形用户界面提供 x、y 和 z 偏移，消除了猜测。无需打开工具即可搜索丢失的晶圆和基座碎片。

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CyberOptics ReticleSense晶圆自动教准系统通过无线实时捕获三维偏移数据（x、y 和 z）来快速教导掩模版传输位置，以正确对准和设置半导体工具，从而改善设备设置和长期产量。

ReticleSense® 晶圆自动教准系统™ (ATSR)

通过**的掩模版切换校准提高产量并降低颗粒污染。

实现可重复和可再现的半导体设备设置。

通过目视检查加快故障排除速度并降低耗材费用。