精密油冷假负载
Precision Oil-Cooled Dummy Load
为了使生产过程重复性和一致性保持理想状态，现代等离子体应用需要**的RF 功率调节和控制。确保输入到真空室的射频功率的准确性和重复性的关键部分就是射频发射机的校准、操作规程和日常监测。
BIRD 提供超稳定，低VSWR 的，针对发射机输出功率配合BIRD 精密功率传感器进行快速**测量的负载。当运作在额定区域时，Dummy Load 负载VSWR 的总变化范围能够保持在0.1dB以内。
负载针对不同时间长度校准，重复性优良且无需预热。这样能够极大减小该项校准的误差，控制一个更关键的过程变量稳定。
选型列表
|
型号
|
功率等级
|
频率范围
|
冷却方式
|
预设接口
|
重量（kg）
|
|
8890-320
|
5kW
|
DC-2.4GHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
33kg
|
|
8921
|
5kW
|
DC-1GHz
|
自然冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
57kg
|
|
8931-230
|
10kW
|
DC-1GHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
65kg
|
|
8921SC13
|
5kW
|
DC-28MHz
*13.56MHz
|
自然冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
57kg
|
|
8931-230SC13
|
10kW
|
DC-28MHz
*13.56MHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 LC（f）接口
|
65kg
|
|
8941-230SC13
|
15kW
|
DC-28MHz
*13.56MHz
|
230VAC 风扇冷却
|
QC 型 DIN（f）接口
|
107kg
|
Moduloads 高功率液冷负载
Moduloads High Power Load
模组液冷负载系列是一款集成式水循环冷却负载，需要 115伏或 230 伏的电压输入。模组负载能够有效地将高达 25 至 50kW 功率等级的射频能量耗散，支持频率范围延展至 900MHz。负载芯 固定在模组中心。 负载模组结构紧凑，提供联锁控制电路提供故 障**保护，可在系统故障发生时保护发射机等重要系统单元。
l 结构紧凑
l 一体式水循环模组系统
l 内置护锁开关，保证 RF **环境
选型列表
|
型号
|
功率等级
|
频率范围
|
接口类型
|
尺寸
mm
|
重量
|
|
8645B230
|
25kW
|
1kHz-900MHz
|
3-1/8’’ EIA Flg
|
723x497x528
|
70kg
|
|
8655B230-5
|
50kW
|
1kHz-900MHz
|
3-1/8’’ EIA Flg
|
1347x497x528
|
125kg
|
|
*Dolly 选件
6771-011 25kW 水冷负载无尘室专用推车
6772B011 50kW 水冷负载无尘室专用推车
*使用前请详细阅读 manual 或在 BSC 指导下使用
|
SCC8系列实验室级大功率校准车
SCC8系列校准车专为即时使用而设计，为功率高达25 kW的高功率射频发生器的校准提供了理想的交钥匙解决方案。
它在一个易于移动的集成式推车中结合了高精度Bird 4028系列功率传感器，4421A多功能功率计和Bird Moduload。该系统对于半导体洁净室应用是必不可少的。
4028系列功率传感器型号可用于250 kHz - 30 MHz的范围频带。这些高精度传感器无需现场校准、外部耦合器或衰减器即可测量RF功率信号。
内置的Bird Moduloads是低反射50Ω终端，可耗散高达25 kW的功率能量。请与Bird联系以获得定制帮助，以确保校准推车已针对您的应用进行了优化。
同时，带锁定轮的不锈钢手推车适合在无尘室环境中使用，并配有四个万向脚轮，以实现*大的机动性。
它具有三个主要组成部分，分别为：
① 4421A多功能功率计，以高达1％的精度显示RF功率读数；
② 4028系列高精度功率传感器，以3%的测量精度测试载入的射频信号；
③ 10KW/25KW级耗散终端负载，耗散载入的射频能量。
以上组件组合后，无需校准或使用外部耦合器或衰减器即可测量RF功率。
特征
专为轻松，立即使用而设计，适用于洁净室环境
带锁定轮的不锈钢手推车设计用于易于运输和轻松使用；
高回波损耗确保*小的功率测量误差；
提供国际和国内版本；
可通过选择功率传感器频率范围进行定制；
注意：有关组件选项，请参见数据表。
|
Item No：
|
SCC8 Series
|
|
Item Name
|
High Power Calibration Cart
|
|
Frequency Range
|
250 kHz - 30 MHz, depending on sensor
|
|
Power Levels
|
10 kW or 25 kW
|
|
Accuracy
|
±2% (2s) of reading at calibration frequency and power levels
±4% (2s) of reading at other power levels and frequencies within sensor range (add 2% to uncertainty outside 25 ± 10 °C)
|
|
RF Sensors Options
|
4028 Series (see datasheet)
|
|
VSWR
|
Sensor: 1.05 max (32.2 dB return loss)
Load: 1.1 max (26.4 dB return loss)
|
|
Particle Generation
|
156 per cfm (0.5 µm)
29 per cfm (1 µm)
0 per cfm (3 µm)
|
|
Connectors
|
Customer specified, appropriate for power level
For connector options, please refer to our catalog or contact sales at 0755-83986300 or fuhao@birdrf.com.cn
|
|
Impedance Ω
|
50 Ohms
|
|
Construction
|
Stainless steel cart with (4) locking swivel casters
|
|
Power Requirements
|
115 VAC ± 10%, 60 Hz, 11 A (nom)
230 VAC ± 10%, 50 Hz, 5.5 A (nom)
|
|
Temperature
|
|
|
Operating:
|
+5 to + 30 °C, £ 25 kW, 100% water, derate sensor accuracy outside 25 ± 10 °C
+5 to + 45 °C, < 20 kW, 100% water, derate sensor accuracy outside 25 ± 10 °C
0 to + 25 °C, £ 25 kW, 35% ethylene glycol / 65% water
0 to + 25 °C, < 20 kW, 35% ethylene glycol / 65% water
|
|
Storage:
|
+5 °C to + 50 °C, 100% water
-20 °C to + 50 °C, 35% ethylene glycol / 65% water
|
|
Coolant
|
100% water or 35% industrial ethylene glycol / 65% water,
9 quarts (8.5 liters), forced air cooling
|
|
Humidity
|
5% (max), non-condensing
|
|
Altitude
|
Load derated above 5,000 feet (1,524 m)
|
|
Dimensions
|
(L x W x H)
39.5” x 21.5” x 39.5” (100.3 cm x 54.6 cm x 100.3 cm)
|
|
Weight
|
109kg
|
Bird 10KW 8931-230Bird 10KW 8931-230Bird 10KW 8931-230Bird 10KW 8931-230Bird 10KW 8931-230